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TAN系列
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TAN系列

对位平台

● 直线和旋转运动的超薄舞台

● 可同时实现直线2 轴和旋转运动

● 高精度高刚性的铸件

● 高刚性的滚珠轴承、及LM 导轨

● 使用快速应答性的伺服马达

● 使用快速应答性的伺服 Ampfilter

● 应对多种尺寸适用场所

● 半导体制作设备及检测装置

● 印花基板制造设备及检测装置

● 液晶面板制造设备及检测装置等

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● 直线和旋转运动的超薄舞台

● 可同时实现直线2 轴和旋转运动

● 高精度高刚性的铸件

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● 使用快速应答性的伺服马达

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